高精度低壓損質量流量控製器MFC及流量計

一、高精度低壓損質量流量控製器MFC及流量計 產(chan) 品概述：

     配備專(zhuan) 有的高流通能力電磁閥門，適用於(yu) 在幾乎沒有可用係統壓力的情況下控製質量流量，低壓差將

保證對係統產(chan) 生最小影響，實現接近大氣壓力條件下的流量控製並縮短係統響應時間。

     我們(men) 將根據您的應用參數，為(wei) 您定製閥門和PID調節功能，確保產(chan) 品能夠在保持低壓損的同時實現快

速、穩定的控製。

二、產(chan) 品應用：

真空鍍膜 / 太陽能、氫能等新能源 / 半導體(ti) / 石油石化精細化工 / 電力冶金

環保 / 食品包裝 / 生物醫藥 / 新材料 / 工業(ye) 製作 / 各種分析儀(yi) 器 / 製氣配氣係統

三、高精度低壓損質量流量控製器MFC及流量計 產(chan) 品參數：

滿量程範圍：2SCCM～6000SLM
準 確  度：±0.5%F.S
線       性：±0.5%F.S
重複精度：±0.2%F.S
響應時間：流量計：＜0.1s ；流量控製器：<0.2s
數 字  量：RS232/485，MODBUS協議
模 擬  量：0～5V、4-20mA、1～5V
供       電：±15VDC，24VDC
工作溫度：0～50℃
工作壓降：<0.01Mpa(流量計）
工作壓差：0.1~0.5Mpa （流量控製器）
耐       壓：3MPa/10MPa
漏       率：1×10-9SCCSHe
溫度係數：±0.025%F.S/℃
底座材質：不鏽鋼
密封材質：氟橡膠，氯丁橡膠，丁腈橡膠，聚四氟乙烯，FFKM/FFPM等
接       頭：φ3，φ6，1/8"，1/4"，3/8"，1/2"，1"… …卡套、法蘭(lan) 、快插、寶塔等。。。

如果所需性能要求與(yu) 上述性能不同，請另行溝通定製。