耐腐蝕金屬密封氣體質量流量計及流量控製器

一、耐腐蝕金屬密封氣體(ti) 質量流量計及流量控製器 產(chan) 品概述：

      對於(yu) 一些腐蝕性較高的氣體(ti) ，橡膠類密封無法滿足現場應用要求，我司已開發出全金屬密封的流量測控產(chan) 品。同時，配備有高性能電磁比例控製閥，毫秒級快速響應，並且可滿足在一定的壓力條件下，穩定控製流量，確保良好的精度。

     我們(men) 也可根據您的應用參數，為(wei) 您定製PID調節功能，確保在保持低壓損的同時實現快速、穩定的控製。

二、產(chan) 品應用：

真空鍍膜 / 太陽能、氫能等新能源 / 半導體(ti) / 石油石化精細化工 / 電力冶金

環保 / 食品包裝 / 生物醫藥 / 新材料 / 工業(ye) 製作 / 各種分析儀(yi) 器 / 製氣配氣係統

三、耐腐蝕金屬密封氣體(ti) 質量流量計及流量控製器 產(chan) 品參數：

滿量程範圍：2SCCM～30SLM
準 確  度：±0.5%F.S
線       性：±0.5%F.S
重複精度：±0.2%F.S
響應時間：流量控製器：<0.2s
數 字  量：RS232/485，MODBUS協議
模 擬  量：0～5V、4-20mA、1～5V
供       電：±15VDC，24VDC
工作溫度：0～50℃
工作壓差：0.05~0.3Mpa （流量控製器）
耐       壓：3MPa/10MPa
漏       率：1×10-9SCCSHe
溫度係數：±0.025%F.S/℃
底座材質：不鏽鋼
密封材質：金屬密封
接       頭：φ6，1/8"，1/4"，3/8"，1/2"，1"… …VCR連接

如果所需性能要求與(yu) 上述性能不同，請另行溝通定製。