用於蒸汽發生器的水蒸氣流量控製

用戶需求：控製水蒸氣的流量

選用設備：ACU20FD高精度質量流量控製器

過程描述：在蒸汽發生器內(nei) 注入適量的水並維持 1-SKPa 的絕壓， 使得容器內(nei) 的水氣化溫度低至35-40℃，立為(wei) 了防止水蒸氣液化，流通

      管道上設有伴熱50℃。通過ACU20FD質量流量控製器可將水蒸氣控製在0.2-10sccm。

方案優(you) 點：

   ①  通過抽真空使水容器內(nei) 保持負壓（本案例為(wei) 絕壓 1-5KPa) ，使得水的氣化溫度低至35-40℃，避免了在高溫條件下的流量控製       和測量，可以讓用戶有更多的產(chan) 品選擇。

     ②ACU20FD質量流量控製器可以在精度更高、 出口壓力更小的情況下，把水蒸汽流量精確控製在0.2-10sccm 的量程範圍內(nei) 。