高溫氣體(ti) 液體(ti) 流量控製器MFC及流量計： -- 可快速精確測量過程氣體(ti) /液體(ti) /蒸汽的體(ti) 積流量/質量流量； -- 采用定製的高速比例控製閥對介質體(ti) 積流量/質量流量進行精確控製 -- 測量液體(ti) 時，帶有排氣孔可輕鬆排出空氣 -- 集成多功能數字顯示屏，通過屏幕按鈕便可控製設定值及PID閥門調節，開放模擬輸入輸出和RS-485數字通訊 -- 內(nei) 部無可移動組件和熱元件，通過抗振動測試，對安裝方向不敏感。

高溫蒸汽高溫氣體(ti) 質量流量控製器/流量計： -- 可快速精確測量高溫介質（液體(ti) 、氣體(ti) 或蒸汽）的體(ti) 積流量/質量流量； -- 采用定製的高速比例控製閥對液體(ti) 體(ti) 積流量/質量流量進行精確控製。 -- 帶有集成式多功能數字顯示屏，允許用戶僅(jin) 通過屏幕按鈕操作便可控製設定值及PID閥門調節，同時開放模擬輸入輸出和RS-485數字通訊。 -- 測量液體(ti) 時，帶有排氣孔可輕鬆排出空氣。

沉積設備用高溫分體(ti) 氣體(ti) 流量控製器及流量計，采用定製的高速比例控製閥，可快速精確測量高溫氣體(ti) 的質量流量，可以以質量單位或體(ti) 積單位顯示流量值，精度0.5%FS。

熱式高溫分體(ti) 氣體(ti) 質量流量控製器及流量計，采用定製的高速比例控製閥，可快速精確測量高溫氣體(ti) 的質量流量，可以以質量單位或體(ti) 積單位顯示流量值，精度0.5%FS。