質量流量計主要是由質量流量傳感器，層流分層件，流量控製器調節閥和放大控製電路等部件組成。它利用流動流體傳遞熱量改變測量毛細管壁溫度分布的熱傳導分布效應而製成。
它采用毛細管傳熱前後溫度差量熱法原理測量氣體的質量流量，不受溫度壓力的影響。將傳感器測得的流量信號進行放大，然後與設定的電壓進行比較，用所得的差值去驅動控製調節閥門，閉環控製流過通道的流量使之與設定的流量相等。
質量流量計為何要進行穩壓補償：
常用的流量計大多隻能夠直接測量流體的體積，並不能直接測量質量，如果隻測量流體在當前工況下的體積時，質量流量計儀表可以直接顯示出來。但是如果要求流量計顯示為流體質量時，需要通過計算即時采樣的流體體積參數與密度參數相乘的積而得出結果（質量=密度X體積）而並非直接測量出流體的質量。
質量流量計作為流量儀表，它測量出來的數據一定要準確，如果要測量流體的質量時就涉及到一個問題：就是流體的密度是否恒定。如果流體的密度始終如一，那麽隻要把流體的密度參數固定在儀表上即可，但是在流體的密度是不斷變化的情況下，就要不斷地根據當前流體的工況對流體的密度參數進行調整，這種在流量測量中，根據流體工況對流體密度參數的調整的做法就是密度補償。
所謂的壓力補償實際上就是根據流體工況中的壓力參數，來調整流體密度的數值。如果在測量中隻根據流體工況中溫度或壓力兩個參數之中的某一個參數來調整密度參數的做法叫溫度補償或壓力補償，但是如果同時根據溫度和壓力的參數來調整密度的參數做法叫做溫度壓力補償。
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