小口徑、微小流量液體流量控製器的種類

本文所述的小口徑、微小流量液體(ti) 流量控製器是指流道管徑小於(yu) 2"，流量小於(yu) 2500Kg/h的小流量；尤其是對管徑更小，而流量小於(yu) 1Kg/h，或者1000ml/h的更小流量的控製。

對於(yu) 液體(ti) 流量計（隻測流量，不控製流量），市場上的種類很多，但是可以精確控製微小液體(ti) 流量的一體(ti) 式液體(ti) 流量控製器就比較少了，大多是采用一個(ge) 獨立的閥跟流量計配合。   

目前市場上，這種一體(ti) 式閉環自動控製的液體(ti) 微小流量控製器，主要有三種原理：差壓式、熱式、以及科裏奧利式，並且大部分以進口品牌為(wei) 主，國產(chan) 品牌很少。

其中，熱式原理的液體(ti) 流量控製器，主要是半導體(ti) 行業(ye) 應用較多，半導體(ti) 行業(ye) 的進口設備較多，也會(hui) 涉及到微小流量的液體(ti) 流量控製，主要品牌例如horiba的LV-F 和 LF-F係列。

對於(yu) 科裏奧利原理的質量流量計，國內(nei) 外品牌的產(chan) 品比較多，但主要是大流量為(wei) 主，而且隻是流量測量功能為(wei) 主，同時帶有一體(ti) 式流量控製功能的很少，尤其是對微小流量的控製，主要還是進口的品牌。

目前我司的微小流量液體(ti) 質量流量控製器已經開發了以上三種原理的產(chan) 品，並已在半導體(ti) ，新能源，生物醫藥，化工，發動機研究、科學儀(yi) 器等行業(ye) 多有應用。

其中熱式和差壓式的流量控製器精度是±1%F.S；科氏原理的流量控製器精度在0.25%F.S。

差壓式的液體(ti) 流量控製器的（滿量程）流量範圍是10ml/min ~ 25L/min；

熱式液體(ti) 流量控製器的（滿量程）流量範圍2g/h ~ 1000g/h；

科氏質量流量控製器的（滿量程）流量範圍是20g/h ~ 1000kg/h，適用性比較強，且不受介質的物理特性的影響，對高粘度微小流量同樣適用。