關於流量顯示儀、控製儀

流量顯示儀(yi) 用於(yu) 為(wei) 氣體(ti) 質量流量控製器（MFC）和質量流量計（MFM）提供工作電源、操作控製、流量設定和流量數字顯示等。

                      單通道流量顯示儀(yi)                                        多通道流量顯示儀(yi)        

目前市場上常見的流量顯示儀(yi) 一般采用塑料機殼，體(ti) 積較小，便於(yu) 安裝。流量輸入輸出信號，一般是標準的 0~+5V 電壓信號或4~20mA的電流信號。

       有些流量顯示儀(yi) 帶有流量設定和閥控功能，也叫流量顯示控製儀(yi) ，這種顯示儀(yi) 可與(yu) 工作電源為(wei) ±15V 的 或24V的MFC（或MFM）配套使用。

1、 基準源和流量的設定

      以0~5V的電壓模擬信號為(wei) 例，在顯示儀(yi) 中設計有+5.00V 基準電源，它加載到設定電位器上，通過操作者手動調節麵板上的設定電位器，提供 0~5.00V 的設定電壓輸出給MFC，用來控製 MFC 的流量。該電源設計有開機軟啟動電路，當顯示儀(yi) 接通電源時，基準源緩慢從(cong) 0V 升至+5.00V.。

2、數字顯示器 

       顯示器用來顯示流量，流量顯示的單位有“SCCM"、“SLM"、“%"三種。通常，流量顯示儀(yi) 與(yu) MFC（或 MFM）配套出廠時,將顯示器顯示的量值和單位與(yu) 其對應的 MFC（或 MFM）通道的量值和單位調整成一致。如果用戶訂貨時沒有注明 MFC（或 MFM）的流量規格，則出廠調整為(wei) 按滿量程的百分比顯示，它與(yu) 任何規格的 MFC（或 MFM）配合使用時，滿量程均顯示“100.0%"。在流量顯示儀(yi) 的麵板上，設計有流量單位指示燈，SCCM 或 SLM，如果兩(liang) 個(ge) 均不亮，則表示單位為(wei) %。

3、閥控開關(guan)

       帶流量調節、流量控製功能的流量顯示儀(yi) 會(hui) 帶有“閥控"開關(guan) 。閥控開關(guan) 有三個(ge) 位置，正常工作時置於(yu) “閥控"位，需要通氣吹洗管路時，可選擇“清洗"位，停止使用時應置於(yu) “關(guan) 閉"位。

4、調零電位器

      麵板上設計有外“調零"電位器，可以用來在小範圍內(nei) 調整MFC（或MFM）產(chan) 品的零點。

5、多通道流量顯示儀(yi)

     可以一台顯示儀(yi) 同時接3、4台 質量流量控製器MFC 或 質量流量計MFM。