氣體或液體質量流量計MFM及質量流量控製器MFC主要涉及的三種原理

      目前市場上常用的氣體(ti) 質量流量計或質量流量控製器主要基於(yu) 三種基礎原理：1、熱式原理，2、差壓式原理，3、科裏奧利原理。而液體(ti) 則主要涉及差壓式原理和科裏奧利原理，熱式原理較少用於(yu) 液體(ti) 。而常用於(yu) 氣體(ti) 的熱式原理又分為(wei) 三類。簡單介紹如下：

      1、熱式原理又主要分為(wei) 毛細管熱式，插入式熱式，以及微電子（MEMS流量芯片）熱式三種，雖然這三種熱式的結構不同，但是原理都是用傳(chuan) 感器感知氣體(ti) 帶走熱量多少換算出氣體(ti) 的質量流量。 

         在這三種熱式質量流量計中，以毛細管熱式技術較常用，工況適應性較強，很多大的國際品牌均以此原理為(wei) 主，例如bronkhorst布朗克斯特，horiba等，還有很多國產(chan) 品牌也是毛細管熱式原理。

      2、壓差式，原理是利用泊肅葉定律來進行補償(chang) 計算，通過測量氣體(ti) 或液體(ti) 經過某段管道內(nei) 前後的壓力差，計算得出氣體(ti) 的體(ti) 積流量，然後再換算到標準工況下流量。主要是以美國的Alicat艾裏卡特等品牌為(wei) 代表。（這裏的壓差式指的主要是用於(yu) 小管徑的小流量的應用，不包括用於(yu) 大管徑的孔板類差壓流量計）。這種壓差式原理既適用於(yu) 氣體(ti) 也適用於(yu) 液體(ti) ，但是這種原理的耐壓性能比熱式的要差一些，所以一般壓力較高的場景，不建議使用壓差式原理。

       3、科裏奧利原理質量流量計，其原理是當流體(ti) 流經傳(chuan) 感器回路時，由於(yu) 科裏奧利力引起可變相移，這種位移與(yu) 流體(ti) 的質量成正比；實際上，科裏奧利質量流量計給出的流量數據是純粹的質量流量，有較高的精確度，在實際應用中更多被用於(yu) 各種液體(ti) 流量的測量與(yu) 控製，或者不知道具體(ti) 組分的混合氣體(ti) ，以及超高壓氣體(ti) ，或氣液混合的流體(ti) 。        實際上任何產(chan) 品原理隻是使其具備某些優(you) 異性能的一部分因素，而一台氣體(ti) 質量流量計所具備的性能優(you) 劣以及所能適應的場景，還需要從(cong) 硬件技術、軟件技術、製造經驗等多方麵考慮；如過隻是應用了很好的原理，但是其它技術配合不夠理想，那麽(me) 產(chan) 品性能可能還不如用傳(chuan) 統原理做出的產(chan) 品。

對於(yu) 氣體(ti) 、液體(ti) 的質量流量的測量或一體(ti) 式自動控製的相關(guan) 儀(yi) 表，可以谘詢頁麵的行業(ye) 經理。