氣體流量的定量控製

氣體(ti) 流量控製器在一些應用中需要用到充氣量的累積值，那麽(me) 如何精準控製累積充氣量呢？

在我司的MFC功能中，設置了到累積流量值後自動設定瞬時流量值為(wei) 0 的功能。

首先在表體(ti) 內(nei) 設定所需要的累積流量（累積氣量），然後設定進氣的實時流量（瞬時流量），MFC會(hui) 開啟累積功能，當累積流量達到所設定目標值後，就會(hui) 自動停止供氣。

這種控製方式既可以在表體(ti) 屏幕上操作也可以通過電腦等上位機控製，配備有485Modbus通訊。

此款流量控製器的其它技術參數如下：(另有0.5%FS精度可選）

技術指標：

ACU10FD-LC 質量流控製器

量程範圍：2SCCM ～ 300SLM

控製器閥控範圍： 50：1

準確度：±1.0%F.S

線性：±0.5%F.S

重複精度：：±0.2%F.S

響應時間：<1.5S

數字量：RS232/485，MODBUS 協議

模擬量：0 ～ 5V、4-20mA、1 ～ 5V

供電：±15VDC，24VDC

工作溫度：0 ～ 50℃

工作壓差：0.05 ～ 0.5MPa；

最大耐壓：3MPa/10MPa

電氣連接：DB15 孔

漏率：1×10-9SCCSHe

溫度係數：±0.025%F.S/℃

底座材質：不鏽鋼

密封材質：氟橡膠，氯丁橡膠，丁腈橡膠

接頭：φ3，φ6，1/8"，1/4"，1/2"。。。卡套，VCR..(可按客戶要求匹配）

如果有其它定製參數請與(yu) 頁麵的產(chan) 品經理溝通。