熱式高溫分體氣體質量流量控製器及流量計

            一、熱式高溫分體(ti) 氣體(ti) 質量流量控製器及流量計  產(chan) 品概述：

u 可快速精確測量高溫氣體(ti) 的體(ti) 積流量/質量流量

u 采用定製的高速比例控製閥對介質體(ti) 積流量/質量流量進行精確的控製

u 超大可觸顯示屏，操作方便同時開放模擬輸入輸出和RS-485數字通訊

u 內(nei) 部無可移動組件和熱元件，通過抗振動測試，對安裝方向不敏感

u 采用內(nei) 部補償(chang) 型層流技術，使得較大流量範圍下的高溫氣體(ti) 仍舊保持層流運動

u 可提供用戶支持，包括技術谘詢、快捷的設備校準服務和有條件的終身質保。

二、產(chan) 品應用：

       -- 已廣泛應用於(yu) 眾(zhong) 多行業(ye) 領域，如：工藝製造、沉積設備、配氣製氣等使用高溫幹燥氣體(ti) 的場景。

        -- 多變量測量以及50:1量程可調比，使得僅(jin) 用一台熱式高溫分體(ti) 氣體(ti) 質量流量控製器或流量計便可取代多台設備的功效。

       -- 精度0.5%FS、重複性0.5%及不到200毫秒的控製響應時間，確保按工藝要求使高溫的過程氣體(ti) 可以流暢的工作。

三、熱式高溫分體(ti) 氣體(ti) 質量流量控製器及流量計  技術參數：