沉積設備用高溫分體氣體流量控製器及流量計

一、產(chan) 品概述： 沉積設備用高溫分體(ti) 氣體(ti) 流量控製器及流量計  

u 可快速精確測量高溫氣體(ti) 的體(ti) 積流量/質量流量

u 采用定製的高速比例控製閥對介質體(ti) 積流量/質量流量進行精確控製

u 超大可觸顯示屏，操作方便同時開放模擬輸入輸出和RS-485數字通訊

u 內(nei) 部無可移動組件和熱元件，通過抗振動測試，對安裝方向不敏感

u 采用內(nei) 部補償(chang) 型層流壓差技術，使得大流量範圍下流體(ti) 仍舊保持層流運動

u 提供用戶支持，包括技術谘詢、快捷的設備校準服務和有條件的終身質保。

二、產(chan) 品應用：

-- 已廣泛應用於(yu) 沉積工藝領域，如陶瓷工藝、半導體(ti) 、光纖等行業(ye) 使用高溫氣體(ti) 的沉積設備。

-- 多變量測量以及50:1量程可調比，使得僅(jin) 用一台熱式高溫分體(ti) 氣體(ti) 質量流量控製器及流量計便可取代多台設備的功效。

-- 精度0.5%FS、重複性0.5%及不到200毫秒的控製響應時間，確保高溫的過程氣體(ti) 可以流暢的工作。

三、技術參數：沉積設備用高溫分體(ti) 氣體(ti) 流量控製器及流量計