關於混合氣體的流量測量及控製

從(cong) 科研實驗到工業(ye) 製造，很多涉及氣體(ti) 應用的行業(ye) 都可能會(hui) 使用混合型氣體(ti) ；而且在很多實際應用中，需要進行多種氣體(ti) 定量混合配氣，將不同氣體(ti) 按一定的比例混合到一起，配出不同濃度、多種組分的工藝氣體(ti) 後才能更好的滿足工藝性能的要求。

      對於(yu) 單一組分的氣體(ti) ，選擇氣體(ti) 質量流量計進行流量的測量和控製在眾(zhong) 多用氣行業(ye) 中已經有比較成熟的應用了，尤其是氣體(ti) 質量流量控製器MFC在對氣體(ti) 流量的一體(ti) 化自動控製方麵具有很明顯的優(you) 勢，可以很好的實現跟電腦、上位機之間通過多種協議通訊，對氣體(ti) 流量進行精確的閉環控製。

      然而，氣體(ti) 質量流量計MFM及質量流量控製器MFC本身也存在幾種不同的工藝原理，目前市場上主要有三種原理：熱式、差壓式、科裏奧利（科氏）原理。

      對於(yu) 混合氣體(ti) ，如果知道具體(ti) 的組分比例，則可以選擇熱式或差壓式；因為(wei) 熱式和差壓式原理雖然是與(yu) 氣體(ti) 的質量流量相關(guan) ，但是也會(hui) 與(yu) 氣體(ti) 自身的其它特性相關(guan) ，所以需要知道具體(ti) 是什麽(me) 氣體(ti) 或者混合氣體(ti) 中每種氣體(ti) 的大概比例，這樣測量出的流量值才會(hui) 相對準確。

      但在有些應用中，有時候氣體(ti) 源本身就是不確定的組分，例如組分較多的有機溶劑或者組分不明確的固體(ti) 蒸發、揮發出的氣體(ti) ，由多種單一氣體(ti) 非定量混合後的氣體(ti) ，以及一些工藝流程後排出的氣體(ti) 等等。。。。這些混合氣體(ti) 因為(wei) 不知道其具體(ti) 組分，但是又需要精確測量流量，則可以使用科裏奧利（科氏）質量流量計及質量流量控製器；因為(wei) 科氏原理的質量流量計隻與(yu) 介質的質量相關(guan) ，與(yu) 其它特性無關(guan) ，所以可以直接輸出質量流量。

但是，科氏產(chan) 品的造價(jia) 相對於(yu) 熱式和差壓式更高一些，所以在具體(ti) 應用中，如果成本預算有限，對測量結果要求不是很高，又知道混合氣體(ti) 的主要成分，則可以考慮熱式或差壓式，但是如果對測量結果要求較高，或者混合氣體(ti) 中並沒有很明顯的主要組分，那麽(me) 科裏奧利（科氏）原理的質量流量計MFM及質量流量控製器MFC還是最合適的選擇。