使用MFC對氣體進行微流控製

      對於(yu) 氣體(ti) 質量流量控製器MFC來說，在有些場景，例如半導體(ti) 相關(guan) 行業(ye) ，分析儀(yi) 器行業(ye) ，科研實驗場景等，需要對氣體(ti) 進行微流控製，使其流量很小，需要小於(yu) 1SCCM，同時這種微流控製也需要較高的響應時間，因為(wei) 流量很小，瞬間就會(hui) 在氣路中通過所需的流量，所以如果MFC的響應時間太慢的話，流量控製就很困難。

       我司的高精度氣體(ti) 質量流量控製器MFC，最小量程可以做到2SCCM（滿量程流量），可以控製到0.01SCCM，響應時間＜200ms，很適合微流控製。

       對於(yu) 這種微流控製，即使是用模擬信號操控，也需要選用數字款流量控製器（既帶有數字信號，也帶有模擬信號），其內(nei) 部的處理方式是數字化芯片控製，而模擬款（隻帶有模擬信號）則隻靠電路的線性控製，數字款MFC控製的更穩定、更精確，尤其是對微小流量氣體(ti) 的流量控製，會(hui) 體(ti) 現的更明顯。

       以下是某客戶定製的滿量程為(wei) 5ml/min的流量控製器，演示視頻，客戶要求流量微小流量控製到0.25ml/min。